Yeni Pura Plus, cihaz boyutları ve ölçümleri ile ilgili wafer endüstrisinin son ihtiyaçlarının değişimine göre özel olarak tasarlanmıştır. Pura Plus, süper saf inert gazların uygulamalarını izlemek için yarı iletken tesislerinde üretim hattının en ucuna ulaşan gaz tedariklerine çok sayıda yerleştirilen çevrimiçi bir az nem değiştirici transmetörüdür. Fabrika içindeki gaz sistemlerinin dağıtımı karmaşıktır ve birçok dalı, düğüm ve kullanım noktasını içerir. Bu nedenle, genel nem izleme noktalarından sonra, az miktarda sızıntı, verimsiz sistem tasarımı, bileşen arızası veya süreç hatası gibi nedenlerden dolayı nem sızıntısına neden olur ve aşağıdaki kullanımı etkiler. Dağıtım sistemine kurulan Pura Plus, 20 ppb nem seviyesinde hızlı yanıt göstermesi sağlar. 1 ppb değişikliğinde tepki süresi 1 dakikadan az. Vurgulama ppb seviyesindeki nem değişikliklerine hızlı yanıt Düşük nem ppb seviyesinde hassasiyet (<1 ppb) Çoklu ölçüm kurulumu için yeni bir konsept Düşük bakım gereksinimleri Sinyal lambası durum göstergesi Uyarı ve alarm noktaları ayarlanabilir Modbus Ağı Uyumluluğu Uzaktan kumanda arayüzü için çok kanallı yazılım (UHP) Süper saf gaz boru hattı tespiti
Teknik Göstergeler
Yanıt hızı < 1 dakika 20 ppb Nem değişiklikleri 1 ppb tepki süresi Nem ölçümü 1 ppb ile 20.000 ppm arasında Basınç Aralığı 0 ila 10 bar arasında Basınç Sınıfı 300 bar Sızdırma Testi 0-9 mbar l/s Çalışma akışı aralığı 1 ~ 10 l / dakika Çalışma sıcaklığı 5 ~ 40 ° C Depolama Sıcaklığı 30 ~ 70 ° C Güç kaynağı 20 ~ 28 V DC Güç tüketimi 5 W en fazla Dış Sigorta Sınıfı 500 mA Hızlı Erime Veri çıkışı Modbus ASCII İki kablolu RS485 Uyarı ve alarm çıkışı 2 Yol Maksimum voltaj 40 V DC'nin Maksimum Akım 100 mA'lık Gaz temas malzemeleri Kapak Malzemeleri Paslanmaz çelik AISI 316L, iç yüzey elektrik parlatma <10 Ra Sensör Yapısı Alüminyum Elektrolit, Altın Kaplama Koruma, Alt Alüminyum Katmanı İç hacim 4.4cm³ Ağırlık 450g Hava yolu arayüzü 1/4 'm VCR Elektrik Arayüzü 9 - İğnekli D - Tip M Arayüzü Elektromanyetik Uyumluluk EN50081-2 ve EN50082-2