Model numarası

K1000A

K1000B

K1000C

Akış Özellikleri (N2 Dönüştürücü Akış)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Kutu 2: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, Hava vb.)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

Vana Türü

N/O: Açık, N/C: Kapalı

N/C: Sık kapalı

Akış Kontrol Aralığı

2%～100%F.S.

Doğruluk

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(Hassasiyet garantisi aralığı 15-35 ℃)

±% 1 FS (Hassasiyet garantisi aralığı 15 ~ 35 ℃)

±% 2 FS (Hassasiyet garantisi aralığı 15 ~ 35 ℃)

Çalışma ortamı sıcaklığı

5～50℃

5～45℃

Yanıt Süresi

≦1sec

≦3sec

Doğrusal

±0.5%F.S.

Tekrarlama Hassasiyeti

±0.2%F.S.

Çalışma basıncı aralığı

N/O100 ~ 300KPa (3SLM ~ 10SLM)

50-300KPa arasında

N/O150 ~ 300KPa (11SLM ~ 30SLM)

200～300KPa

(Ar: 100 ~ 300KPa)

N/C100 ~ 300KPa (3SLM ~ 30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100-300KPa arasında

150-300KPa arasında

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Sıcaklık Faktörü

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Maksimum çalışma basıncı

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Basınca dayanıklı

1MPa

sızıntı oranı

Metal sızdırmazlık: 1 x 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

Kauçuk halka sızdırmazlık: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Kauçuk halka sızdırmazlık: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Sızdırmazlık malzemesi

metal sızdırmazlık; fluor kauçuk; Neopren

fluor kauçuk; Neopren

İletişim şekli

Analog: 0 ~ 5V DC Dijital: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Analog: 0 ~ 5V DC Dijital: RS485, DeviceNet,

Güç kaynağı

Analog / dijital: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Standart bağlantı biçimi

VCR 1/4 güneş bağlantısı, çift kart takımı 1/4 güneş bağlantısı, 1.5 '' W-Seal, 1.125 '' W-Seal, 1.125 '' C-Seal

VCR 3/8 güneş bağlantısı, çift kart takımı 3/8 güneş bağlantısı

VCR 1/2 güneş bağlantısı, çift kart takımı 1/2 güneş bağlantısı

Ağırlık

1.0kg

3.0kg

3.7kg