Film Kalınlığı Kontrolörü
Teknik Özellikler:
1. Tam dokunmatik ekran kullanımı, kullanımı kolay;
2.32Bir membran, her membran50/100Katman otomatik kaplama;
3. 12Yol sinyali girişi/12Yol anahtarı çıkışı;
4. Tam otomatik, yarı otomatik ve manuel kontrol modu;
5.Kontrol edilebilir2Bir kaynak, bir set çalışma diğer bir set çözünür;
Teknik parametreler
|
CY-FDC-S Kontrolörü |
Kristal titreme frekansı |
6MHz (isteğe bağlı 2.5M 3M 5M 9M kristal) |
Göster yöntemi |
5 "renkli dokunmatik ekran + dijital tüp görüntüleme hızı ve gerçek kalınlık |
Çalışma yöntemi |
Dokunmatik Ekran |
Son Kalınlığı |
00μ0000Å-99μ9999Å |
Kalınlık Görüntü Çözünürlüğü |
1Å/s |
Hız Görüntüleme Çözünürlüğü |
0.1Å/s |
Kaplama Katmanları Sayısı |
32 membran sistemi, her membran sistemi 50/100 katman; |
Prob sayısı |
A B |
Araç Faktörü |
0.01-99.99 |
Zaman Görüntülemesi |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Güç göstergesi |
0~99.9% |
Ön Erime Gücü |
0~99% |
Ön kaplama gücü |
0~99.9% |
Ön Erime Süresi / Ön Kaplama Süresi |
0~99:99 m:s |
Ön Erime Yalıtım Süresi / Ön kaplama yalıtım süresi |
0~99:99 m:s |
Kaplama hızı (ayar hızı) |
0~999.9Å/s |
Malzeme Depolama |
257+ Özel 10 |
İletişim |
RS232/RS485 |
Kontrol edilebilir buharlaşma kaynağı |
2 adet, bir set çalışabilir, diğeri önceden çözülebilir |
Çıkış Kontrolü |
±10V/5V/2.5V |
I / Arayüzü |
12 sinyal girişi / 12 anahtar çıkışı |
Kontrol edilebilir çanak sayısı |
1-16 kişi |
Kaplama Gösterimi |
Hız Eğrisi/Değeri |
Kaplama tur sayısı |
Her Membran Sistemi 50/100 Katman Otomatik |
Kasa Boyutu |
480 × 280 × 89mm (2U 19 "kasa) |
Özel Özellikler:
1Manuel, yarı otomatik, otomatik3Çeşitli kaplama modu, çeşitli kaplama makinesi yapılandırmalarını karşılamak;
2Kaplama yapay durdurma: Kaplama esnasında kaplama yapay durdurma;
3El kontrolü: İlk kaplama sürecinin gereksinimlerini belirlemek;
4Kesici film sistemi: Otomatik ve yarı otomatik kaplamada sorun veya arıza bulundu, kaplamayı durdurabilir ve mevcut durumu otomatik olarak koruyabilir, arıza ** bekleyerek, kaplamaya devam edebilir;
5Otomatik veya yarı otomatik kaplama, titreme bozulması gibi, kaplamayı sonlandırmak, mevcut güç zamanına göre kaplama yapmak, çip devam etmek için geçiş yapmak (çoklu çip probu) seçebilirsiniz;
6İki kaynak aynı anda önceden erir: Mevcut katman kaplamanın başlangıcında, aynı anda seçilebilir2Katmanlar zaman gereksinimleri için gergin durumları karşılamak için ön erime yapılır;
7Şifre koruma: membran sistemi ve membran katmanı parametreleri şifre koruma fonksiyonu, süreç parametrelerini işlemci olmayan personel tarafından değiştirilmemekten korumak;
8Kaplama veri kaydı: otomatik veya yarı otomatik kaplama sırasında, sistem her katmanın film oluşturma süresini ve son kalınlık hız parametrelerini kaydedebilir.